星报讯 日前,经省人民政府批准,省生态环境厅、省市场监督管理局联合发布省级地方标准《半导体行业水污染物排放标准》(以下简称《标准》)。新建半导体企业自2023年1月1日起执行,现有企业自2025年1月1日起执行。
半导体行业集成电路制造与封装测试工艺中均有大量废水产生,尤其是封装过程中电镀工序,涉及重金属等有毒有害物质排放,环境危害较大,需要强化环境监管。为对标长三角生态环境标准一体化,加强我省半导体行业水污染物排放监管力度,省生态环境厅于2020年9月启动了本标准的编制工作。
《标准》适用于半导体行业企业(包括从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业)的水污染物排放管理,以及半导体企业排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。《标准》以水污染物排放控制要求为核心内容,按照一般区域、特别排放区域两种情形,规定了总镉、总砷等7种一类水污染物,氟化物、化学需氧量等14种二类水污染物的直接和间接排放标准。同时,规定了半导体行业企业不同产品规格的单位产品排水量和半导体企业污水集中处理设施废水综合毒性控制项目和标准。
据了解,《标准》实施后,我省半导体行业总铬、六价铬削减率为50%左右,化学需氧量削减率为40%左右,氨氮削减率为60%左右,对地表水环境质量改善有较好的效果。